大型深冷空分裝置通過低溫精餾技術(shù)，可生產(chǎn)高純度工業(yè)氣體。氧氣純度通常達99.5%以上，滿足冶金、化工等行業(yè)的強化冶煉和氧化反應(yīng)需求；氮氣純度可達99.999%以上，廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體制造中的保護氣氛、食品保鮮包裝及冶金惰性保護；氬氣純度可達99.99%以上，作為副產(chǎn)品用于不銹鋼精煉和半導(dǎo)體物理氣相沉積等工藝。該技術(shù)通過多級精餾和側(cè)線抽提實現(xiàn)氣體分離，產(chǎn)品純度受操作壓力、溫度梯度及塔內(nèi)填料效率影響，是大型工業(yè)基地實現(xiàn)連續(xù)穩(wěn)定供氣的核心設(shè)備。