深冷空分氪氙分離是一種利用組分沸點(diǎn)差異進(jìn)行分離的技術(shù)。在大型、特大型空分設(shè)備中，首先通過(guò)壓縮、冷卻、吸附、膨脹制冷等工序?qū)⒖諝馓幚碇两咏夯瘻囟?，然后送入精餾塔。在塔內(nèi)，利用氪、氙與氧等組分沸點(diǎn)的不同，通過(guò)多次部分冷凝和部分蒸發(fā)的過(guò)程，實(shí)現(xiàn)氪、氙與氧氣的分離，獲取貧氪—氙混合物。后續(xù)還需經(jīng)過(guò)精制系統(tǒng)，包括加壓、催化、吸附、換熱、精餾和凈化等多道工序，將貧氪—氙混合物提純至高純度產(chǎn)品。